我国科研人员“以柔克刚”填补微型LED晶圆无损测试技术空白

新华社天津(tiānjīn)6月13日电（记者张建新、栗雅婷）微型LED是下一代高端显示技术的核心元件，搭载(dāzài)微型LED的晶圆必须达到100%的良率(liánglǜ)，否则将会给终端产品造成巨大的修复成本。然而，业界却一直没有(méiyǒu)找到晶圆接触式(jiēchùshì)无损检测的好方法。近日，我国科研人员用“以柔克刚”的方式填补了这一技术空白。 传统的晶圆良率(lǜ)检测方法(fāngfǎ)有的如“铁笔刻玉”，会(huì)造成晶圆表面不可逆的物理损伤；有的则只能“观其大概”，存在较高的漏检率和错检率。良率无损检测的技术空白严重阻碍了大面积显示屏(xiǎnshìpíng)、柔性显示屏等微型LED终端产品的量产。 近日，天津大学精密测试技术(jìshù)及(jí)仪器全国重点实验室、精仪学院感知(gǎnzhī)科学与工程系黄显教授团队打破了微型LED晶圆测试瓶颈，实现了微型LED晶圆高通量(gāotōngliàng)无损测试，研究成果于13日在国际学术期刊《自然-电子学》刊发。 图为柔性(róuxìng)探针接触(jiēchù)LED晶圆后，点亮其中的一个LED发出蓝色光。（受访者供图） 研究团队(tuánduì)首次提出了一种基于柔性(róuxìng)电子技术的检测方法，该方法构建(gòujiàn)的三维结构柔性探针阵列，凭借其“以柔克刚”的特性能对测量对象表面(biǎomiàn)形貌进行自适应形变，并以0.9兆帕的“呼吸级压力”轻触晶圆表面。 “该技术的探针接触压力仅为传统刚性探针的万分之一，不但不会造成晶圆表面磨损(mósǔn)，也降低了探针本身的磨损，探针在100万次接触测量(cèliáng)后，依然‘容颜如初(rúchū)’。”黄显说。 此外，团队还研发了与三维柔性探针(tànzhēn)相匹配的测量系统。通过(tōngguò)探针和检测系统的协同工作，为微型LED产品的高效工艺控制和良品(liángpǐn)筛选提供关键工具。 图为测试系统中的柔性探针(tànzhēn)，当探针接触LED晶圆后点亮(diǎnliàng)其中的一个LED发出蓝色光，通过同轴(tóngzhóu)光路可观察光强和波长信息。（受访者供图） “我们实现了从零到一的突破，填补了微型LED电致发光检测的技术(jìshù)空白，也为其他复杂晶圆检测提供了革命性技术方案，随着(suízhe)探针阵列规模与检测通道的持续(chíxù)拓展，未来或将在晶圆级集成检测、生物光子学等领域产生更广泛影响。”黄显(huángxiǎn)说。 据悉，目前该技术(jìshù)已(yǐ)在天开高教科创园开启产品化进程，未来将为国内微型LED产业提供批量化、无损、低成本的检测解决方案，进一步(jìnyíbù)拓展柔性电子技术的应用领域。